Chemtron CVD專用氫氣發(fā)生器不能啟動(dòng)故障怎么檢修？
1.發(fā)生器不能啟動(dòng)。
故障原因：(1)電路沒(méi)有接通；(2)氫氣開(kāi)關(guān)電源損壞；(3)在壓力為0空載運(yùn)行時(shí)電解池?zé)龎摹?/span>
檢查方法：(1)檢查電路；(2)用萬(wàn)用表測(cè)量電解池的電壓是否在2.3V左右。
排除方法：(1)修理電源；(2)更換損壞的氫氣開(kāi)關(guān)電源；(3)更換電解池。
2.產(chǎn)氫達(dá)不到預(yù)定的壓力。
故障原因：(1)氣路系統(tǒng)漏氣；(2)過(guò)濾器或過(guò)濾器上蓋沒(méi)有擰緊；(3)氫氣電解池反漏。
檢查方法：用檢漏液檢測(cè)各氣路連接處。
排除方法：(1)更換漏氣元件；(2)擰緊漏氣點(diǎn)；(3)廠家更換電解池。
3.產(chǎn)氫超過(guò)預(yù)定的壓力。
故障原因：(1)自動(dòng)跟蹤裝置擋光板錯(cuò)位或脫落；(2)光電耦合損壞。
檢查方法：(1)目測(cè)；(2)用萬(wàn)用表測(cè)量電路。
排除方法：(1)前面板上的壓力達(dá)到0.3MPa時(shí)關(guān)閉電源，把擋光板安裝在合理的位置上，打開(kāi)電源開(kāi)關(guān)輕輕敲緊擋光板即可；(2)更換損壞的光電耦合元件。
4.發(fā)生器能啟動(dòng)，但氫氣的數(shù)顯顯示為0或黑屏。
故障原因：數(shù)字顯示表?yè)p壞。
檢查方法：用萬(wàn)用表測(cè)量電路。
排除方法：更換數(shù)字顯示表。
5.開(kāi)機(jī)后，產(chǎn)氫量達(dá)不到300ml/min或需要很長(zhǎng)時(shí)間才能達(dá)到。
故障原因：(1)電解液失效；(2)開(kāi)關(guān)沒(méi)有旋緊，有漏氣現(xiàn)象。
檢查方法：(1)觀察電解液的液面是否低于下限或電解液使用半年以上；(2)試漏。
排除方法：(1)及時(shí)添加二次蒸餾水或去離子水。或?qū)⑿屡渲玫睦鋮s后電解液(母液)倒人儲(chǔ)液桶內(nèi)，再加入二次蒸餾水或去離子水，水位在水位線上下限之間(氫氧化鉀溶液的濃度為l0%左右)，擰上外蓋，10min后即可使用；(2)繼續(xù)旋緊開(kāi)關(guān)，使儀器的壓力和流量達(dá)標(biāo)。
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